第172章 EUV光刻机?
第172章EUV光刻机?
因为我之前有过对90纳米芯片使用的八英寸晶圆的改良经验,所以提升晶圆的品质以及良品率交给我就行。”
听到林轩的话语,现场许多人纷纷点头表示认可。
确实,八英寸的晶圆相比六英寸的晶圆,最大的差别就是加工环节。
同一时间段里,使用八英寸晶圆生产芯片时能省下很多钱。
如果不计较成本的问题,六英寸的晶圆确实可以用,而且有林轩说过会提升晶圆的品质,这样就更好了。
“所以接下来我们的任务,就是从晶圆切割之后的一系列生产制造问题”
随着林轩的话语落地,现场的人们也再次点点头表示知道。
随后他们纷纷好奇地看着林轩,想看看林轩会怎么安排任务给他们。
不过此时的林轩却没有立马安排任务,毕竟林轩对于现场许多人根本就不了解,怎么能安排任务呢?
所以需要林轩说了一下目前遇到的难题有什么?
他们这些人需要研发什么设备,然后才能根据他们的意愿以及他们擅长什么而安排任科研务。
“芯片的生产有着很多机器,但一些机器目前我们汉唐科技已经在采用一百五十纳米的设备,这种设备改装一下也能勉强够用。”
“因为资金有限,所以我们的科研任务是放在绝对无法采购的核心设备,比如光刻机,刻蚀机,高能离子注入机,……”
顿了一下,林轩轻声接着道:
“其中目前最难的就是光刻机以及刻蚀机,薄膜沉积设备,高能离子注入机。”
“薄膜沉积设备,岛国那边处于世界领先地位,此外我们还必须得攻克薄膜沉积设备使用的化学材料。
刻蚀机方面也是差不多的情况,目前最难的则是光刻机。”
但这时候有人开口说道:
“光刻机其实也不算难,光刻机说到底不过是设备精度与镜头还有扫描曝光系统的问题,在光源上我们的问题不大。
我们大夏有世界领先的激光晶体KBBF,大夏在激光领域也是处于世界领先层次。”
说话的是其中一名年轻的研究生。
大夏许多科技虽然在世人的眼中一直是落后的状态,但其实在一些特殊的领域,特别是军l事领域其实并不弱。
其实关于激光这东西大夏也早有研究,而且还有了自己的独特成果,那就是激光使用的KBBF晶体!
这KBBF晶体可不简单,大夏发明它后可以说立刻站在了世界激光领域的前沿。
其在二零零九年中断KBBF晶体出售后,更是让美迪国的激光研究被迫停止十五年!
直到十五年后,他们才研究出新的激光晶体替代大夏的KBBF晶体,重新开始激光的大规模研究。
所以大夏的激光技术实际上并不弱,无论是现在还是后世都处于世界领先一流层次。
其中大夏的激光产品销售也是长期达到了全球市场的百分之五十,可以说这是少有的技术领先情况!
“不行,KBBF激光晶体造不了光刻机,KBBF晶体的激光太猛了,射出的激光(EUV)极深紫外光太过锋利。
一不小心就会损坏整个芯片无法使用,除非我们的控制精度与对准成像系统能达到让人惊讶的程度,否则极深紫外光我们绝对无法使用。”
目前市面上的光刻机采用的是紫外光源,紫外光源分为紫外光(EV),深紫外光(DUV),极紫外光(EUV)。
其中光源越到后面波长就越短,光刻的刀也就越锋利,对于精度的控制要求就越高。
所以目前世界上没有光刻机采用极深紫外光(EUV),作为光源制作光刻机。
毕竟以目前几十纳米的制程工艺,也不需要这样高精密的光刻机,目前绝大部分光刻机还是使用紫外光(EV)。
只有最前沿的45纳米制程工艺,才使用EUV之前的深紫外光源,也既是DUV光刻机。
至于更下一步EUV光刻机,那目前更是没有,之所以没有,这是因为目前没有这方面的需求。
当然真实原因是想研发这样的EUV光刻机需要的成本也太高,不下于从零开始设计研发,所以目前市面上并没有这样的EUV光刻机出现。
“没错,光刻机可不容易制造,你可能是其他领域的,所以有些想当然了,光是镜片就能把我们卡死。”
此时人群前排的一个博士,也说出了想造光刻机不容易。
在他看来光刻机最难的就是镜头部分。
光刻机需要的镜面误差十分之小,镜面误差不能大于零点零五微米。
这误差的范围用个形象的比喻,如果把镜面误差比喻成天涯海角岛的话,那么整个天涯海角岛的平整度误差不能大于十毫米!
而最为恐怖的是这样的镜片不只是一个,因为镜片这东西其实是有成像误差的,这成像误差在光刻生产环节的影响十分之严重。
因为偏差一点就会把整个芯片损坏,毕竟那可是几十纳米的大小,光照到了不该照的地方,最后制造成成品时肯定会短路!
所以为了解决成像误差,光刻机就需要非常多的镜片来解决成像误差的问题。
这也是为什么很多昂贵的摄像机或相机的镜头,为什么会那么长。
原因其实和光刻机面临的问题一样,为了解决成像误差的问题,所以相机镜头里面有着非常多的镜片!
这些镜片都是高精度镜片,相互之间精度要求非常之高,所以会出现一个镜头会比相机还贵的现象。
而且别的不说,就说后世的手机镜头模块里面,其实有着五到六片镜片!
而光刻机自然比相机与手机镜头要求高,所以现在的光刻机随着越来越深入几十纳米的层次。
要求越来越高,镜片的数量也越来越多,目前的光刻机镜片已经达到了十六到二十个镜片。
此时的人们不知道的是,在后世能生产几纳米芯片的EUV光刻机镜片已经达到了二十九个!
这也是为什么林轩情愿花费一亿资金,也要把那堪称破烂的凤凰公司收购的原因。
因为这些镜片的要求太过严苛,为了那几个专精于镜面打磨的八级工,林轩也是舍得出一亿的资金把他们买下来!
“我们还是让林轩先生来决定到底怎么样吧。”
人群的前排中,王院士看着隐隐有开始争吵的趋势的诸位博士们与研究生们,他缓缓开口说着。
随着王院士的开口,瞬间,现场陷入了寂静。
随后人们将视线看向了林轩这里,在上千双眼睛的注视下,林轩也是缓缓开口道:
“关于光刻机的问题,我的决定是直接放弃深紫外光(DUV)光刻机,直接研发极深紫外光(EUV)光刻机!
而且EUV光刻机还没有太多公司进入这个领域,在这个领域中也没有太多专利,正好方便我们自由发挥设,设计难度也大幅降低。”
听到林轩的决定,现场顿时有博士摇头不认同直接跳过EUV光刻机,直接研发EUV光刻机这点。
“林先生,虽然因为有KBBF晶体的原因,我们在光源上有优势。
但镜平还有成像定位系统可是一个难题,而且光刻机的零件性能要求十分之高,精度也十分之高,这种程度的要求我们能造得出来吗?
我不是说设计的问题,而是我们有那个材料,有那个加工精度吗?”
随着那个发出质疑的博士话语,现场陷入了绝对的寂静。
确实,国外为什么比我们先进,原因就是他们除了拥有丰富的工人队伍。
也就是有着庞大的八级工九级工队伍外,他们机器上的精度也十分惊人!
光刻机是一个涉及全领域的东西,它涉及光学,机械,材料,化学等等全方面的领域,被人称呼为工业之花。
许多东西,大夏如果想设计的话也是可以设计出来,但能设计却加工不出来啊!
虽然有八级工九级工的存在,但八级工与九级工能造几个东西?
这个时候,看着陷入沉默的人们,何秘书也是适时的发话道:
“加工精度上不用担心,因为我们相比“两旦一星”的艰难时期已经有了很大的变化!
虽然我们机器的加工精度不行,但我大夏有着庞大的工人队伍!”
说到这里的何秘书笑着说道:
“这次上面为了攻克45纳米制程工艺也是下狠了心,某位老人还特别发话无论要什么都全力支持,无论是军或民都要全力配合。
所以无论是国l营厂还是军公厂,只要你能设计出来并且你们支付了委托费用,那我都会帮伱们打通环节,就算用手工硬堆,也要堆出你的零件!
此外材料问题也不用担心,这次上面也是下狠了心,为了我大夏能将半导体制程工艺推进到45纳米分层次。
只要汉唐科技给钱,某些辛苦收集来的战略材料也是下了狠心打开仓库让你们用,所以材料问题你们不用担心。
只要我们有的我们就立马给你,我们没有的,我们会想方设法地弄给你们!”
听到陈秘书的发言,现场陷入了绝对的寂静!
所有人的眼中都露出了惊骇的眼神,没有想到上面竟然如此重视!
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因为我之前有过对90纳米芯片使用的八英寸晶圆的改良经验,所以提升晶圆的品质以及良品率交给我就行。”
听到林轩的话语,现场许多人纷纷点头表示认可。
确实,八英寸的晶圆相比六英寸的晶圆,最大的差别就是加工环节。
同一时间段里,使用八英寸晶圆生产芯片时能省下很多钱。
如果不计较成本的问题,六英寸的晶圆确实可以用,而且有林轩说过会提升晶圆的品质,这样就更好了。
“所以接下来我们的任务,就是从晶圆切割之后的一系列生产制造问题”
随着林轩的话语落地,现场的人们也再次点点头表示知道。
随后他们纷纷好奇地看着林轩,想看看林轩会怎么安排任务给他们。
不过此时的林轩却没有立马安排任务,毕竟林轩对于现场许多人根本就不了解,怎么能安排任务呢?
所以需要林轩说了一下目前遇到的难题有什么?
他们这些人需要研发什么设备,然后才能根据他们的意愿以及他们擅长什么而安排任科研务。
“芯片的生产有着很多机器,但一些机器目前我们汉唐科技已经在采用一百五十纳米的设备,这种设备改装一下也能勉强够用。”
“因为资金有限,所以我们的科研任务是放在绝对无法采购的核心设备,比如光刻机,刻蚀机,高能离子注入机,……”
顿了一下,林轩轻声接着道:
“其中目前最难的就是光刻机以及刻蚀机,薄膜沉积设备,高能离子注入机。”
“薄膜沉积设备,岛国那边处于世界领先地位,此外我们还必须得攻克薄膜沉积设备使用的化学材料。
刻蚀机方面也是差不多的情况,目前最难的则是光刻机。”
但这时候有人开口说道:
“光刻机其实也不算难,光刻机说到底不过是设备精度与镜头还有扫描曝光系统的问题,在光源上我们的问题不大。
我们大夏有世界领先的激光晶体KBBF,大夏在激光领域也是处于世界领先层次。”
说话的是其中一名年轻的研究生。
大夏许多科技虽然在世人的眼中一直是落后的状态,但其实在一些特殊的领域,特别是军l事领域其实并不弱。
其实关于激光这东西大夏也早有研究,而且还有了自己的独特成果,那就是激光使用的KBBF晶体!
这KBBF晶体可不简单,大夏发明它后可以说立刻站在了世界激光领域的前沿。
其在二零零九年中断KBBF晶体出售后,更是让美迪国的激光研究被迫停止十五年!
直到十五年后,他们才研究出新的激光晶体替代大夏的KBBF晶体,重新开始激光的大规模研究。
所以大夏的激光技术实际上并不弱,无论是现在还是后世都处于世界领先一流层次。
其中大夏的激光产品销售也是长期达到了全球市场的百分之五十,可以说这是少有的技术领先情况!
“不行,KBBF激光晶体造不了光刻机,KBBF晶体的激光太猛了,射出的激光(EUV)极深紫外光太过锋利。
一不小心就会损坏整个芯片无法使用,除非我们的控制精度与对准成像系统能达到让人惊讶的程度,否则极深紫外光我们绝对无法使用。”
目前市面上的光刻机采用的是紫外光源,紫外光源分为紫外光(EV),深紫外光(DUV),极紫外光(EUV)。
其中光源越到后面波长就越短,光刻的刀也就越锋利,对于精度的控制要求就越高。
所以目前世界上没有光刻机采用极深紫外光(EUV),作为光源制作光刻机。
毕竟以目前几十纳米的制程工艺,也不需要这样高精密的光刻机,目前绝大部分光刻机还是使用紫外光(EV)。
只有最前沿的45纳米制程工艺,才使用EUV之前的深紫外光源,也既是DUV光刻机。
至于更下一步EUV光刻机,那目前更是没有,之所以没有,这是因为目前没有这方面的需求。
当然真实原因是想研发这样的EUV光刻机需要的成本也太高,不下于从零开始设计研发,所以目前市面上并没有这样的EUV光刻机出现。
“没错,光刻机可不容易制造,你可能是其他领域的,所以有些想当然了,光是镜片就能把我们卡死。”
此时人群前排的一个博士,也说出了想造光刻机不容易。
在他看来光刻机最难的就是镜头部分。
光刻机需要的镜面误差十分之小,镜面误差不能大于零点零五微米。
这误差的范围用个形象的比喻,如果把镜面误差比喻成天涯海角岛的话,那么整个天涯海角岛的平整度误差不能大于十毫米!
而最为恐怖的是这样的镜片不只是一个,因为镜片这东西其实是有成像误差的,这成像误差在光刻生产环节的影响十分之严重。
因为偏差一点就会把整个芯片损坏,毕竟那可是几十纳米的大小,光照到了不该照的地方,最后制造成成品时肯定会短路!
所以为了解决成像误差,光刻机就需要非常多的镜片来解决成像误差的问题。
这也是为什么很多昂贵的摄像机或相机的镜头,为什么会那么长。
原因其实和光刻机面临的问题一样,为了解决成像误差的问题,所以相机镜头里面有着非常多的镜片!
这些镜片都是高精度镜片,相互之间精度要求非常之高,所以会出现一个镜头会比相机还贵的现象。
而且别的不说,就说后世的手机镜头模块里面,其实有着五到六片镜片!
而光刻机自然比相机与手机镜头要求高,所以现在的光刻机随着越来越深入几十纳米的层次。
要求越来越高,镜片的数量也越来越多,目前的光刻机镜片已经达到了十六到二十个镜片。
此时的人们不知道的是,在后世能生产几纳米芯片的EUV光刻机镜片已经达到了二十九个!
这也是为什么林轩情愿花费一亿资金,也要把那堪称破烂的凤凰公司收购的原因。
因为这些镜片的要求太过严苛,为了那几个专精于镜面打磨的八级工,林轩也是舍得出一亿的资金把他们买下来!
“我们还是让林轩先生来决定到底怎么样吧。”
人群的前排中,王院士看着隐隐有开始争吵的趋势的诸位博士们与研究生们,他缓缓开口说着。
随着王院士的开口,瞬间,现场陷入了寂静。
随后人们将视线看向了林轩这里,在上千双眼睛的注视下,林轩也是缓缓开口道:
“关于光刻机的问题,我的决定是直接放弃深紫外光(DUV)光刻机,直接研发极深紫外光(EUV)光刻机!
而且EUV光刻机还没有太多公司进入这个领域,在这个领域中也没有太多专利,正好方便我们自由发挥设,设计难度也大幅降低。”
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“林先生,虽然因为有KBBF晶体的原因,我们在光源上有优势。
但镜平还有成像定位系统可是一个难题,而且光刻机的零件性能要求十分之高,精度也十分之高,这种程度的要求我们能造得出来吗?
我不是说设计的问题,而是我们有那个材料,有那个加工精度吗?”
随着那个发出质疑的博士话语,现场陷入了绝对的寂静。
确实,国外为什么比我们先进,原因就是他们除了拥有丰富的工人队伍。
也就是有着庞大的八级工九级工队伍外,他们机器上的精度也十分惊人!
光刻机是一个涉及全领域的东西,它涉及光学,机械,材料,化学等等全方面的领域,被人称呼为工业之花。
许多东西,大夏如果想设计的话也是可以设计出来,但能设计却加工不出来啊!
虽然有八级工九级工的存在,但八级工与九级工能造几个东西?
这个时候,看着陷入沉默的人们,何秘书也是适时的发话道:
“加工精度上不用担心,因为我们相比“两旦一星”的艰难时期已经有了很大的变化!
虽然我们机器的加工精度不行,但我大夏有着庞大的工人队伍!”
说到这里的何秘书笑着说道:
“这次上面为了攻克45纳米制程工艺也是下狠了心,某位老人还特别发话无论要什么都全力支持,无论是军或民都要全力配合。
所以无论是国l营厂还是军公厂,只要你能设计出来并且你们支付了委托费用,那我都会帮伱们打通环节,就算用手工硬堆,也要堆出你的零件!
此外材料问题也不用担心,这次上面也是下狠了心,为了我大夏能将半导体制程工艺推进到45纳米分层次。
只要汉唐科技给钱,某些辛苦收集来的战略材料也是下了狠心打开仓库让你们用,所以材料问题你们不用担心。
只要我们有的我们就立马给你,我们没有的,我们会想方设法地弄给你们!”
听到陈秘书的发言,现场陷入了绝对的寂静!
所有人的眼中都露出了惊骇的眼神,没有想到上面竟然如此重视!
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